原磊纳米取得真空角阀及晶圆镀膜设备专利,实现依次连通第一通道、泄压通道和第二通道
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2026-03-02 15:24:42

国家知识产权局信息显示,南京原磊纳米材料有限公司取得一项名为“一种真空角阀及晶圆镀膜设备”的专利,授权公告号CN223953284U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本申请实施例提供一种真空角阀及晶圆镀膜设备,包括阀体、第一泄压单元和第二泄压单元;阀体形成有相互连通的第一通道和第二通道;第一通道具有靠近第二通道的进出口;第一泄压单元设置于进出口;第一泄压单元被配置为打开进出口,或者,封闭进出口;第一泄压单元设置有泄压通道,第一通道、泄压通道和第二通道能够依次连通;泄压通道的内径小于进出口的内径;第二泄压单元嵌设于第一泄压单元内,且第二泄压单元被配置为打开或者封闭泄压通道;当第一泄压单元封闭进出口时,第二泄压单元被配置为打开泄压通道,以依次连通第一通道、泄压通道和第二通道;或者,封闭泄压通道以与第一泄压单元配合封闭进出口。

天眼查资料显示,南京原磊纳米材料有限公司,成立于2018年,位于南京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4140.5988万人民币。通过天眼查大数据分析,南京原磊纳米材料有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息80条,此外企业还拥有行政许可13个。

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来源:市场资讯

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