住友大阪水泥申请静电吸盘部件及静电吸盘装置专利，放电抑制部件电气独立地设置
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2026-03-04 13:22:48
国家知识产权局信息显示，住友大阪水泥股份有限公司申请一项名为“静电吸盘部件及静电吸盘装置”的专利，公开号CN121605795A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，一种静电吸盘部件，其具备：电介质基板，设置有供板状试样载置的载置面及沿厚度方向贯穿的气孔，且为板状；吸附电极，配置于电介质基板的内部；偏置电极，配置于电介质基板的内部；及放电抑制部件，以包围气孔的方式埋设于电介质基板，且具有导电性，放电抑制部件电气独立地设置。
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来源：市场资讯
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