住友大阪水泥申请静电吸盘部件及静电吸盘装置专利,放电抑制部件电气独立地设置
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2026-03-04 13:22:48

国家知识产权局信息显示,住友大阪水泥股份有限公司申请一项名为“静电吸盘部件及静电吸盘装置”的专利,公开号CN121605795A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,一种静电吸盘部件,其具备:电介质基板,设置有供板状试样载置的载置面及沿厚度方向贯穿的气孔,且为板状;吸附电极,配置于电介质基板的内部;偏置电极,配置于电介质基板的内部;及放电抑制部件,以包围气孔的方式埋设于电介质基板,且具有导电性,放电抑制部件电气独立地设置。

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来源:市场资讯

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