湖南普照信息材料申请光掩膜板用玻璃基板清洗系统专利,可有效提升清洗效果
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2026-03-30 19:21:09

国家知识产权局信息显示,湖南普照信息材料有限公司申请一项名为“一种光掩膜板用玻璃基板的清洗系统及其清洗方法”的专利,公开号CN121732480A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及一种光掩膜板用玻璃基板的清洗系统及其清洗方法,其中,清洗系统包括第一清洗模块和酸洗模块;第一清洗模块包括沿待清洗的玻璃基板传送方向依次设置的第一清洗槽和第一漂洗槽;第一清洗槽设有第一清洗液,第一清洗液包括表面活性剂和氧化剂,第一清洗槽设有超声装置;第一漂洗槽设有第一漂洗液,第一漂洗槽设有超声装置;酸洗模块设置在第一清洗模块的沿玻璃基板传送方向的下游,酸洗模块包括沿待清洗的玻璃基板传送方向依次设置的第一酸洗槽、第二酸洗槽和酸液冲洗槽;第一酸洗槽设有第二酸洗液;第二酸洗槽设有第二酸洗液;酸液冲洗槽内设有酸冲洗液。本发明可有效提升清洗效果,同时减少对基板表面的白点腐蚀。

天眼查资料显示,湖南普照信息材料有限公司,成立于2003年,位于长沙市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本99278.6058万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南普照信息材料有限公司参与招投标项目569次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息74条,此外企业还拥有行政许可28个。

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来源:市场资讯

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