台玻太仓申请靶面磁场定向增强约束的玻璃磁控溅射镀膜方法专利,抑制靶面结瘤现象
创始人
2026-08-17 20:57:30

国家知识产权局信息显示,台玻太仓工程玻璃有限公司申请一项名为“一种靶面磁场定向增强约束的玻璃磁控溅射镀膜方法”的专利,公开号CN122564489A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种靶面磁场定向增强约束的玻璃磁控溅射镀膜方法,其靶面磁场形成于靶管的靶面附近,靶管位于工作区内的靶面为第一靶面,位于工作区外的靶面为第二靶面;靶面磁场对应于第一靶面的部分为工作磁场,其从内向外穿透第一靶面,且穿过靶面的部分位于工作区内,并对工作区内的二次电子形成约束;对应于第二靶面的部分为非工作磁场;当第一靶面上的粒子溅射速率低于粒子沉积速率时,工作磁场增强,且增强时,工作磁场被约束在工作区内,非工作磁场被约束在第二靶面内侧。本发明通过调节和约束靶面磁场,在靶管靶面上任一点的单个旋转周期上形成溅射速率占优的固定时段,并消除沉积速率占优的时段,以抑制靶面结瘤现象。

天眼查资料显示,台玻太仓工程玻璃有限公司,成立于2010年,位于苏州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本3500万美元。通过天眼查大数据分析,台玻太仓工程玻璃有限公司参与招投标项目12次,专利信息51条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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