鑫芯测科技申请基于玻璃基板键合转移的微探针专利，提高器件结构完整性_科普教育

鑫芯测科技申请基于玻璃基板键合转移的微探针专利，提高器件结构完整性

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2026-09-01 16:08:59

国家知识产权局信息显示，深圳市鑫芯测科技有限公司申请一项名为“一种基于玻璃基板键合转移的微探针及其制备方法和应用”的专利，公开号CN122667514A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于玻璃基板键合转移的微探针及其制备方法和应用，本发明先在硅模板内整片构建目标金属结构层、再通过超快激光垂直切割形成单根探针轮廓、随后与玻璃基板对准键合、最后去除硅模板的工艺路线，使玻璃基板作为最终承载基板保留于器件中，提高器件结构完整性、键合可靠性、工艺一致性和复杂探针轮廓的制造灵活性。本发明制备的微探针可实现检测时针尖垂直位移50–100μm，并使针尖最大载力达到1–10gf范围，可满足晶圆级或芯片级测试中的过驱动和接触稳定性要求。本发明所述制备方法适于阵列化、批量化制造，可用于微探针结构、微互连结构及相关半导体测试器件的制备。

天眼查资料显示，深圳市鑫芯测科技有限公司，成立于2025年，位于深圳市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鑫芯测科技有限公司。

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来源：市场资讯

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